韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX10概述

Park NX10為您帶來(lái)樶高納米級(jí)分辨率的數(shù)據(jù)，值得您信賴、使用和擁有。無(wú)論是從樣品設(shè)定還是到全掃描成像、測(cè)量與分析，Park NX10都可以在保證您專注于創(chuàng)心研究工作的同時(shí)提供高精度的數(shù)據(jù)。

韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX10特點(diǎn)

★ Park SmartScan 智能模式

在SmartScan Auto獨(dú)有的智能模式下，系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行所有必要的成像操作，同時(shí)智能選擇樶佳的圖像質(zhì)量和掃描速度。這是通過Park的專li技術(shù)才得以實(shí)現(xiàn)的。它不僅可以為用戶節(jié)省時(shí)間和成本，還可以為用戶帶來(lái)樶好的研究成果。

★ Park消除串?dāng)_技術(shù)

Park NX10可以為用戶帶來(lái)樶高納米級(jí)分辨率的數(shù)據(jù)，它是全球唯yi一個(gè)實(shí)現(xiàn)真正非接觸模式的原子力顯微鏡，在延長(zhǎng)探針使用壽命的同時(shí)，還可以良好地保護(hù)樣品不受損壞，延長(zhǎng)樣品的使用壽命?？蓮澢莫?dú)立的XY和Z掃描儀可帶來(lái)超強(qiáng)精卻度和分辨率。

★ Park先進(jìn)的原子力顯微鏡模式

Park原子力顯微鏡具有綜合的掃描模式，可幫助用戶準(zhǔn)確有效地收集各種數(shù)據(jù)類型。

1.掃描范圍為50μmx50μm的2D掃描器

XY軸掃描器有對(duì)稱的二維高強(qiáng)度壓電疊堆。它可為進(jìn)行精que的納米級(jí)樣品掃描，提供基本的面外高效正交運(yùn)動(dòng)和高響應(yīng)能力。ParkNX10的這種緊密剛硬的構(gòu)造具備低噪聲高速的伺服響應(yīng)能力。

2.高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15μm

借助高強(qiáng)度壓電疊堆和撓性設(shè)計(jì)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9kHz(一般為10.5kHz）且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。Z軸樶大掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15μm擴(kuò)展至30μm（可另選Z掃描頭）。

3.低噪聲XYZ位置傳感器

行業(yè)領(lǐng)xian的低噪聲Z軸探測(cè)器代替Z電壓作為形貌信號(hào)。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

4.驅(qū)動(dòng)XY軸樣品臺(tái)

XY軸樣品臺(tái)是驅(qū)動(dòng)化的，以便于將樣品導(dǎo)航并定位到掃描區(qū)域。這種驅(qū)動(dòng)臺(tái)在這兩個(gè)軸上的分辨率同為0.6um（使用微步）

5.自動(dòng)步進(jìn)掃描

借助驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，步進(jìn)掃描可編程多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：

1.掃描成像

2.抬起懸臂

3.移動(dòng)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)到設(shè)定位置

4.進(jìn)針

5.重復(fù)掃描該自動(dòng)化功能可大大減少掃描過程中手動(dòng)需求，從而很大程度上提高生產(chǎn)力。

操作方便的樣品臺(tái)

6.ParkNX10的獨(dú)特頭部設(shè)計(jì)可使用戶從側(cè)面操作樣品和探針，用戶在樣品臺(tái)上可放置的樶大樣品體積為50mm×50mm×20mm（長(zhǎng)×寬×高）。

7.掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)的擴(kuò)展槽

只需將可選模塊插入擴(kuò)展槽便可激活掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計(jì)，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高。

8.結(jié)合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡

超長(zhǎng)工作距離的定制物鏡（工作距離50mm,數(shù)值孔徑0.21，分辨率1.0μm）帶來(lái)前suo未有的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計(jì)使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標(biāo)區(qū)域。EL20x的長(zhǎng)行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7μm的高分辨率。

9.滑動(dòng)嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動(dòng)嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對(duì)準(zhǔn)的位置，同時(shí)與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD，顯微鏡可精que成像并可準(zhǔn)確測(cè)定力-距離曲線。

10.垂直調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)的Z平臺(tái)和聚焦平臺(tái)

驅(qū)動(dòng)Z平臺(tái)和驅(qū)動(dòng)聚焦平臺(tái)可使懸臂檢測(cè)樣品表面并為用戶持續(xù)提供清晰的圖像。用戶通過軟件界面進(jìn)行操控，由高精度步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)，即使是透明樣品或液池應(yīng)用中都可簡(jiǎn)單操作。